Hochpräzises multifokales Laserschnitzen von mikrostrukturierten Glaskomponenten

Multifokale Laserbehandlung zur effizienten Herstellung einer trapezförmigen Nut. (a) Schematische Darstellung einer multifokalen Laserbehandlung. (b) Simuliertes Lichtintensitätsfeld eines multifokalen Spots. (c) 45° geneigte Ansicht der multifokalen Ablation. (d) 45° geneigte Ansicht der multifokalen Ablation nach chemischem Ätzen. (e) Querschnittsansicht der Rille auf Quarzglas nach der Laserbehandlung, beobachtet unter einem optischen Mikroskop. (f) Dreidimensionale Ansicht der Furche nach dem chemischen Ätzen, aufgenommen durch konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie. (g) 45° geneigte Ansicht der Rille, abgebildet mit einem Rasterelektronenmikroskop. Maßstabsbalken: 100 μm. Kredit: Optoelektronische Fortschritte (2024). DOI: 10.29026/oea.2025.240082

Glasmaterialien werden aufgrund ihrer geringen Kosten und hervorragenden mechanischen und optischen Eigenschaften häufig in optischen und optoelektronischen Geräten verwendet. Darunter finden lineare konkave/konvexe Glasstrukturen mit Strukturgrößen im Bereich von mehreren Mikrometern bis zu Hunderten von Mikrometern intensive Anwendungen.

Beispielsweise werden zylindrische Mikrolinsen-Arrays und Mikrorillen-Arrays mit unterschiedlichen Querschnitten häufig für die Lichtfeldmodulation, Mikrofluidik-Chip-Strömungskanäle und optische Modulverbinder verwendet. Die inhärente Härte, Sprödigkeit und geringe Wärmeleitfähigkeit von Glas machen es sehr schwierig, großflächige Mikrorillen aus Glas herzustellen, insbesondere solche mit einstellbaren Querschnittsformen.

Als berührungsloses subtraktives Fertigungsverfahren spielt die ultraschnelle Laserbearbeitung eine wichtige Rolle bei der Herstellung von Glasmikrostrukturen. Die extrem hohe Spitzenleistungsdichte und die kurze Pulsdauer sorgen für geringe thermische Belastung, wenige Fehler und hohe Präzision.

Wenn man sich jedoch ausschließlich auf das Einpunkt-Laser-Direktschreiben verlässt, ist es ziemlich schwierig, die Verarbeitungseffizienz und die resultierende Oberflächenqualität den tatsächlichen Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Bisherige Untersuchungen haben gezeigt, dass die Flexibilität der Laserbearbeitung erheblich verbessert werden kann, wenn die Strahlformung kombiniert werden kann.

Es besteht die Möglichkeit, durch Laserbearbeitung mit Strahlformung eine qualitativ hochwertige und effiziente Gravur von Glasmikrostrukturen mit beliebigen Querschnittsformen auf der Glasoberfläche zu erreichen. Verwandte Forschung hat sowohl akademischen als auch industriellen Wert.

Das Forschungsteam von Professor von Mikrometern. Die Forschung wird in der Zeitschrift veröffentlicht Optoelektronische Fortschritte.

Diese Methodik geht effektiv auf die Kontrollierbarkeits- und Präzisionsherausforderungen von Querschnittsprofilen ein, die mit der Herstellung von Glasrillen verbunden sind. Genauer gesagt korrigiert der in diesem Ansatz entwickelte Modulationsalgorithmus Positionsabweichungen des Multifokallasers, die aus dem Brechungsindex der Linse und nichtparaxialen Bedingungen resultieren. Darüber hinaus verbessert es die Verschlechterung der multifokalen Energiegleichmäßigkeit, die durch kreisförmige Moiré-Muster im Phasendiagramm verursacht wird. Dies wird durch eine Kombination aus Koordinaten-Randomisierung und Energieanpassungsstrategien erreicht.

  • Hochpräzises multifokales Laserschnitzen von mikrostrukturierten Glaskomponenten

    Verbesserung der Gleichmäßigkeit von Multifoki durch Randomisierung ihrer Koordinaten in Quarzglas. Illustration, Phasendiagramm, schnelle Fourier-Transformationsbilder von Phasendiagrammen, die kreisförmige Moiré-Muster zeigen, Lichtintensitätsfeldsimulation und Massenablation eines V-förmigen Punktarrays mit mehreren Brennpunkten, gleichmäßig aus 13 Punkten (a), 21 Punkten (b) und 21 Punkten . mit randomisierter Position (c). Maßstabsbalken: 100 μm. Kredit: Optoelektronische Fortschritte (2024). DOI: 10.29026/oea.2025.240082

  • Hochpräzises multifokales Laserschnitzen von mikrostrukturierten Glaskomponenten

    Verschiedene Querschnittsprofile von Glasrillen, die durch räumliche multifokale Laserbearbeitung in Kombination mit chemischem Ätzen erhalten wurden, sowie ihre verschiedenen Anwendungen. (a) Symmetrische und asymmetrische V-förmige Rillen auf Quarzglas. (b) Bogenförmige Rillen auf Quarzglas. (c) Zylinderanordnungen, die aus kontinuierlichen Rillen auf Quarzglas gebildet werden. (d) Trapezförmige Rillen auf Borosilikatglas, das zum Verpacken optischer Fasern verwendet wird. Maßstabsbalken: 100 μm. Kredit: Optoelektronische Fortschritte (2024). DOI: 10.29026/oea.2025.240082

Das Ergebnis der Methodik ist ein präziser Multifokallaser, der sich perfekt an das entworfene Rillenprofil anpasst. Diese Ausrichtung beschleunigt die Herstellung von Glasrillen deutlich, ein Prozess, der durch anschließendes chemisches Ätzen noch weiter beschleunigt wird.

Die entwickelte Technik eignet sich für eine Vielzahl von Rillengeometrien, einschließlich trapezförmiger, dreieckiger Rillen mit hohem Seitenverhältnis und halbkreisförmiger Rillen. Darüber hinaus untersuchten die Forscher praktische Anwendungen dieser Glasrillen, beispielsweise trapezförmige Rillenanordnungen, die sich ideal zum Verpacken optischer Fasern eignen.

Die Bedeutung der Forschung liegt in der Aufklärung des ungenutzten Potenzials und der Vielseitigkeit, die laserstrukturiertem Glas für fortgeschrittene Anwendungen innewohnt. Diese Arbeit trägt nicht nur zur Weiterentwicklung optischer und optoelektronischer Technologien bei, sondern ebnet auch den Weg für Innovationen in verschiedenen Branchen, die von glasbasierten strukturierten Systemen abhängig sind.

Weitere Informationen:
Kang Xu et al., Hochpräzises multifokales Laserschnitzen von mikrostrukturiertem Glas, Optoelektronische Fortschritte (2024). DOI: 10.29026/oea.2025.240082

Unterstützt von Compuscript Ltd

Zitat: Forscher entwickeln dreidimensionalen Multifokallaser für die Mikroformung von Glas (11. Oktober 2024), abgerufen am 11. Oktober 2024 von https://phys.org/news/2024-10-dimensional-multi-focus-laser-glass

Dieses Dokument unterliegt dem Urheberrecht. Mit Ausnahme der fairen Nutzung für private Studien- oder Forschungszwecke darf kein Teil ohne schriftliche Genehmigung reproduziert werden. Der Inhalt dient ausschließlich Informationszwecken.

By rb8jg

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *